中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 纳米加工平台简介
纳米加工平台定位
针对应用基础和具有应用前景的科学与技术研究，集微米、纳米加工和检测手段于一体，具有先进的、有特色的加工装备的研究基地；具有开发微纳电子器件、微纳光电子器件、微纳光机电系统、生物传感器及生物芯片等多功能的技术支撑体系；具有孵化器功能，为企业全方位开放的服务体系；是为国家和企业的纳米科研和产业提供的人才培养基地，同时也是为企业家和科学家提供的一个思想交流的平台。目标是要建成具有国际先进水平的、面向国内外开放的纳米科学研究和成果转化的公共技术平台，提高研究所的核心竞争力，并有效改善江苏省的科研基础和科技创新环境。 B4~4Ph1=4ox13h
纳米加工平台作为支撑部门，是纳米所的公共资源，为各研究部项目的实施提供工艺条件，利用平台的公共服务和广泛接触的优势，为所属各类研发单元的有效合作提供建设性建议。纳米加工平台是一个公共的服务平台，具有广泛的服务对象，包括其它研究院所、全国各地大学和企业。在满足纳米所科研需求的前提下，大力开展周边科技服务，即面向地方和全国的产业需求,为现代制造业和高新技术产业发展提供技术服务、开发设计和信息咨询等科技服务业务。在产学研合作背景下，利用平台的设备和技术资源，积极与相关企业和科研机构建立密切的合作关系，共同承担各类科研开发项目，重点孵化一批地方政府招商引资中遇到的成熟度不高的项目，共同分享知识产权，助其迅速产业化。 J,=,pT68kk3-6U
纳米加工平台集微米、纳米加工和检测手段于一体，具有先进的、有特色的多功能加工平台。要持续的保持纳米加工平台的先进性和特色，必须加强平台的持续建设工作，按照先需求后发展的原则，平台硬件建设从购买国内外先进装备为主向自主研发具有鲜明特色和先进水平的装备为主发展。利用平台公共服务的特性，在提供支撑和服务工作中，多方发现用户的共性需求和跟踪微纳加工技术的最新动态，进行新型或特殊功能微纳加工设备的研发和研制，并注重设备的产业化要求，研制具有鲜明特色的微加工设备。积极推进平台的开放性建设，不仅面向本所，而且面向全国各院所和企业，乃至开展国际合作项目或面向国际研究等单位提供服务。开展多种方式的服务内容，目标提高平台的利用率，降低平台的运行成本。在开放服务的过程中，面向国内外开展不同层次和不同形式的人员培训和学术交流活动，包括研究生培养，为企业培训技术人员、举办国内、国际的学术会议等。但是最重要的是使平台成为科学家和企业家的思想交流平台，让企业家了解科学工作者的项目，让科学家了解企业家的思维方式和企业运作模式，知道企业需求什么，能够更好的为企业服务。同时，促进需求引导科研，使科学研究有的放矢，有机的和社会需求相结合。总之，开放的纳米加工平台不仅是科学工作者之间的学术交流平台，更重要的成为企业和科研、企业和企业之间的桥梁；不仅是先进的技术加工平台，还是微纳加工技术领域的人才培训基地。 V5-5Oh93ep7~1s
纳米加工平台特色
加工精度从微米到数十纳米； d99Vk3=,zB9?9M
6英寸 — 4英寸 — 2英寸 — 小片兼容； W5:7Zz1!6Ia5=6g
工艺加工 — 器件测试 — 器件封装—于一体； w7!9hY,;2dN5:3i
同时为科研人员和企业提供纳米级器件加工能力； T2.4WW1+5hX8~,G
开放式管理，方便科研人员和风险投资企业的使用。 h3!1AV8.,YB2-2Q
纳米加工平台技术功能
适用于微纳电子、光电子器件、微纳光机电系统、各种传感器和生物芯片等研制开发。 U7:7mu7-,ye55S
纳米加工平台建设目标
建成安全、高效、先进的科研和服务平台。 s5?8yt2=8ob5?5J
安全——人员安全，设备安全，平台安全。 p,;3jW2-1oh4=1c
高效——设备利用率，平台利用率，为企业服务效率。 i7?9kx8.9Qd1+6R
先进——设备先进，知识结构先进，管理先进。 P2-7OD8=1wj2-5E
纳米加工平台建设宗旨
整合资源, 服务科研， c1~2Ip3,da2?5v
开放管理, 服务社会， c4.7Oz,~6Ua5!9G
培养人才, 面向未来， m1.4Vc5;8nU2:3K
集中优势, 突出特色。 x2.,tt2;3Jf,;8v
地址:苏州工业园区独墅湖高等教育区若水路398号 k3:3eJ27qs5;8j
邮编:215123 p2;3Ia1:7ab,!3p
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